分，因设有绥远驻军驻守此地，故名绥远。设归绥道，属山西省。民国初年，袁世凯政府为加强对蒙古地区的统治，便大力推行民政统治制度，分别在内蒙古划置3个特别区(热河、察哈尔、绥远)。民国二年(1914年)1月，北洋政府公布设置绥远特别区，将原先由山西省管辖的归绥道12县，改由绥远城将军管辖，还有归化城土默特左、右二旗，伊克昭盟和乌兰察布盟也划归绥远特别区。1928年改称绥远省。
1933年热河被日军侵占后，向华北与塞北逼进，1935年傅作义将军曾在百灵庙击退日军，缔造百灵庙大捷。
七七事变后，日军于1937年10月，攻占归绥，扶植德王成立蒙疆组织统治，于1939年9月成立“蒙疆联合自治政府”，改归绥为“厚和浩特”特别市，绥远省省会迁至陕坝。抗战胜利后国府收复失地，并恢复“归绥”旧称。